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世偉洛克是半導體芯片制造應用的全球技術領導者和解決方案提供商,同時也是 ALD 閥門技術的鼻祖。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點:

  • 高速啟動下的超高循環壽命
  • Cv 範圍從 0.27 至 1.7
  • 使用熱動元件時,全浸沒溫度高達 392°F (200°C)
  • 适合于采用标準 316L VIM-VAR 不鏽鋼閥體的 UHP 應用
  • 模塊化表面安裝、卡套管對焊和 VCR® 端接
  • 電子或光學執行機構位置傳感選購件

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ALD3 和 ALD6 産品目錄

 

ALD 隔膜閥具有超長的使用壽命、高速的啟動和高達 0.62 的流量系數,與熱執行機構、位置傳感器和電磁閥配合使用,可在原子層沉積應用場合實現最佳性能。

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工作壓力 真空至 145 psig (10.0 bar)
爆裂壓力 3200 psig (220 bar)
執行壓力 50 至 90 psig(3.5 至 6.2 bar)
溫度 32° 至 392°F(0° 至 200°C)
流量系數(Cv) 0.27 或 0.62
閥體材料 316L VIM-VAR 不鏽鋼
隔膜材料 钴基高溫合金
端接
類型(尺寸) 内螺紋 VCR® 面密封接頭(1/4 in. 至 1/2 in.)
外螺紋 VCR 面密封接頭(1/4 in. 至 1/2 in.)
模塊化表面安裝高流量 C 型密封(1.125 in. 至 1.5 in.)

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ALD20 産品目錄

ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 産品系列的最新成員。正在申請專利的設計允許利用具有挑戰性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管,因此與其他 ALD 閥相比,可促進清潔操作并具有更高的流量。

此外,ALD20 閥可以完全熱浸在氣箱中,并可以從 50°F (10°C) 加熱到 392°F (200°C)。

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工作壓力 真空至 20 psig (1.4 bar)
爆裂壓力 >3200 psig (220 bar)
執行壓力 70 至 90 psig(4.8 至 6.2 bar)
溫度 50° 至 392°F(10° 至 200°C)
流量系數 (Cv) 1.2 (MSM) 或 1.7(直通型)
閥體材料 316L VIM-VAR 或合金 22
波紋管材料 合金 22(5 μin.Ra 表面粗糙度)
端接
類型(尺寸) 内螺紋 VCR® 接頭 (1/2 in.)
可旋轉外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.)
卡套管對焊,長 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.)
模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.)

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下載 ALD 超高純閥産品目錄

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安心的産品選擇:必須查看全部産品目錄内容以保證系統設計者和用戶進行安心的産品選擇。選擇産品時,必須考慮總體系統設計以保證獲得安全無故障的性能。産品的功能、材料兼容性、充分的額定值、正确的安裝、操作和維護均是系統設計者和用戶的責任。

注意:切勿将世偉洛克的雙卡套管接頭端接組件(或不符合工業設計标準的其他産品)與其他制造商的組件混用/互換。
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